Quali requisiti di purezza ultra-alta regolano i tubi del gas?
Standard Semi F72 per Surface Finish . Outgassing<5×10⁻¹⁰ torr·L/sec/cm². Particle counts <0.1 particles/cm³ (>0 . 1μm). Contenuto di umidità<10 ppb. Metallic impurities <1 ppb.
Come vengono preparate le saldature di distribuzione del gas?
Saldatura orbitale con la saldatura a doppia passere a doppia purezza ultra-alta . a doppia passere per linee critiche . elettropolishing su 0 . 25μm ra . passivizione con acido nitrico . lessing finale con 18,2 mΩ · cm.
Quale test convalida l'integrità del tubo del gas?
Test di perdite di elio a 1 × 10⁻⁹ atm-cc/sec . Analisi del gas residua per contaminazione . Conteggio delle particelle del gas di spurgo . Analisi di umidità mediante spettroscopia laser . certificazione finale con il processo effettivo .}
In che modo sono collegati gli armadietti a gas ai sistemi di distribuzione?
VCR aderenti a misurazione facciale per giunti a tenuta di perdite . Contenuto secondario incurvato di spurgo . Tubing a doppia parete per gas pericolosi . Grounding per il controllo statico . Orifici a flusso limitato per la sicurezza .
Quale manutenzione impedisce la contaminazione del sistema di gas?
Test annuali di perdite di tutte le connessioni . Monitoraggio delle particelle durante le variazioni del gas . Verifica della qualità del gas di spurgo regolare . manutenzione dell'imballaggio della valvola . procedure di controllo delle modifiche rigorose .}
